共面性測試儀在IC芯片引腳缺陷檢測應(yīng)用
2025-02-24
在芯片制造過程中,芯片引腳扮演著連接內(nèi)部電路與外部電路的重要角色,相當于芯片的接口。然而在芯片制造過程中,如果引腳出現(xiàn)缺失、破損、偏斜或不平整,容易導致后續(xù)貼片焊接時出現(xiàn)虛焊、虛接或漏接的問題,進而影響芯片的可靠性。芯片引腳缺陷檢測通常涉及測量和評估多個指標,如檢測引腳外觀、測量引腳寬度、高度差等,通過綜合評估這些參數(shù),能夠及時發(fā)現(xiàn)潛在的問題并提供預警,以確保芯片制造的質(zhì)量和可靠性。結(jié)合了金相顯微鏡的高倍觀察能力,和影像測量儀的X、Y、Z軸表面尺寸測量功能,采用0.1μm高精...